| 新旧程度：8成新 | 品牌：日本光驰 | 型号：OTFC-1550 |
| 设备类型：镀膜机 | 设备所在地：东莞 | 设备生产产地：日本 |
| 产品数量：10 |
产品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI
原装高配OTFC-1550光驰机(年份:2015. 11
日本电子16P双枪，23 寸光驰RF离子源
275机械泵+爱德华配套罗茨泵
HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪
XTC/3+6点式水晶传感器
1.产品参数:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波长范围:350nm to 1100nm 光学膜厚监控仪反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF 离子源
机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2 个冷凝泵)
2. 性能:达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分 (大气压,1.3X10- 3Pa)基板温度:350
3. 设备尺寸:约5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,
4. 电源约120KVA 水流量180 升/分以上 空气压力0. 5MPa以上
5. 重量约11000kg
